PHASICS在光学测量学上进行创新，研制了一种既能测量透射波前误差又能测量反射波前误差(TWE/RWE)的仪器。可在其工作波长环境下测量直径为5.1英寸(130毫米)的涂覆或未涂覆光学元件。
KaleoMultiWAVE是需求多个干涉仪的有利替代方案，可极大的节约成本。该系统具有与Fizeau干涉仪相当的测量精度。
KaleoMultiWAVE可选择多种工作波长，使其在实际工作波长环境下进行光学和涂层的鉴定分析。
主要特点：
l最多可在同一干涉仪上集成8个波长的激光
l超高动态范围
l可用于MTF测量
l兼容MetroPro&ISO
l具有极强的抗震性
应用领域：
l光学和滤波器制造商
l滤波器制造商
l空间和国防
l汽车或手机制造商
可选择的激光波段如下图所示：
产品参数：
配置 | 双通道 |
标准波长 | 625 / 780 / 1050 nm |
定制波长 | 400 to 1100 nm 或其他波长可选 |
通光孔径 | 5.1" (130 mm) |
重复性（ISO5725） | <5 nm RMS |
再现性（ISO5725） | <7 nm RMS |
动力学（散焦）（RWE） | 10 µm PtV |
动力学（散焦）（TWE） | 200 nm RMS |
准确度（RWE） | <80 nm PtV |
准确度（TWE） | <20 nm RMS |
尺寸 | 910 x 600 x 260 mm |
测量结果与Fizeau干涉法相近
NBP-780nm 相同瞳孔上的两个测量值的差值小于40 nm pTv
我们的多波长干涉仪与传统FIZEAU干涉仪测量精度对比如下表所示
FIZEAU | PHASICS | ||
直径 (mm) | 124.9 | 125.4 | |
RWE (nm PtV) | 1498.13 | 1535.38 | |
RWE (nm RMS) without PST/TLT/PWR | 35.2 | 28.1 | |
RWE (nm RMS) without ST/TLT/PWR/AST/CMA/SA | 9.1 | 12.9 | |
ISO 10110 | SAG (fr) | 5.13 | 5.04 |
IRR (fr) | 0.75 | 0.61 | |
RSI (fr) | 0.34 | 0.23 | |
RMSt (fr) | 1.477 | 1.459 | |
RMSi (fr) | 0.129 | 0.103 | |
RMSa (fr) | 0.085 | 0.059 | |