PIMag精密线性平台
磁力直接驱动器带来高速度和高精度
V-551
§ 行程达230 毫米
§ 速度高达0.5米/秒
§ 绝对编码器分辨率为1纳米
§ 带PIOne线性编码器实现最高精度:最小位移为0.5纳米
§ 高导向精度
§ 设计紧凑,宽度为160毫米
参考级线性平台
由于平滑运行的精密线性导向装置采用交叉滚柱轴承,因此该线性平台特别适合速度恒定的扫描应用。防蠕动系统可 靠地防止保持架蠕变。导向装置在所有操作条件下都具有高负载能力和高精度。
PIMag磁力直接驱动
三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件,其可直接将驱动力传输至运动平台,且无摩擦。驱动器可实 现高速度和高加速度。
无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务,因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在最低的速度 下也能保持平稳的运行,同时,在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制
。驱动力可任意设定。
直接位置测量
以极高的精度直接在运动平台上进行位置测量,因此非线性效应、机械作用或弹性形变不会对位置测量造成影响。高分辨率PIOne编码器由PI研发,在对测量数据进行相应处理后,可实现远低于1纳米的位置分辨率。光学非接触式PI One编码器基于干涉测量原理。由于信号周期短,信号质量高,PIOne编码器的线性误差小于1%。 PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。
绝对编码器提供明确的位置信息,帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位,提高了操作过程中的效率和安 全性。
应用领域
工业和科研。自动化、测量技术、光子学以及半导体或平板显示器制造中的精密扫描
规格
运动和定位 | V-551.2x | V-551.4x | V-551.7x | 单位 | 公差 |
主动轴 | X | X | X | ||
行程 | 60 | 130 | 230 | 毫米 | |
螺距 | ±50 | ±100 | ±100 | 微弧度 | 典型值 |
偏转角 | ±50 | ±50 | ±50 | 微弧度 | 典型值 |
直线度 | ±1 | ±1 | ±2 | 微米 | 典型值 |
平面度 | ±2 | ±2 | ±2 | 微米 | 典型值 |
速度 | 0.5* | 0.5* | 0.5* | 米/秒 | 最大 |
机械特性 | V-551.2x | V-551.4x | V-551.7x | 单位 | 公差 |
Z向负载能力 | 150 | 150 | 150 | 牛 | 最大 |
Y向负载能力 | 50 | 50 | 50 | 牛 | 最大 |
移动质量 | 2.2 | 2.7 | 4.9 | 千克 | |
总质量 | 4.2 | 5.5 | 9.7 | 千克 | |
线性导向 | 具有防蠕动系统的交 叉滚柱轴承 | 具有防蠕动系统的交 叉滚柱轴承 | 具有防蠕动系统的交 叉滚柱轴承 |
驱动特性 | V-551 | 单位 | 公差 |
驱动类型 | PIMag线性电机,无铁芯,三相 | ||
中间电路电压 | 110 ** | 伏直流 | 最大 |
峰值力 | 180 | 牛 | 典型值 |
标称力 | 27 | 牛 | 典型值 |
峰值电流,均方根 | 10 | 安 | 典型值 |
标称电流,均方根 | 1.5 | 安 | 典型值 |
力常数,均方根 | 18 | 牛/安 | 典型值 |
相电阻 | 3.15 | 欧姆 | 典型值 |
相间电感 | 0.9 | 毫亨 | 典型值 |
相间反电动势 | 16 | 伏·秒/米 | 最大 |
N-N极距 | 30 | 毫米 |
编码器选配件 | V-551.xB | V-551.xD |
集成传感器 | 绝对编码器 | PIOne增量线性编码器 |
传感器信号 | BiSS-C | 正弦/余弦,1伏峰峰值, 2微米信号周期 |
传感器分辨率 | 1纳米 | 0.2纳米*** |
最小位移 | 2纳米 | 0.5纳米 |
单向重复精度 | 0.02微米 | 0.02微米 |
双向重复性 | ±0.05微米 | ±0.05微米 |
行程限制 | 通过软件设定上下限;采用额外机械缓冲止 挡器。 | 霍尔效应限位开关 |
参考点开关 | – | 编码器索引 |
参考点开关重复性 | – | <1微米 |
其他 | V-551 |
工作温度范围 | 10至50摄氏度 |
湿度 | 20–90%相对湿度,无凝结 |
材料 | 铝,阳极氧化致黑 |
电机连接器 | HD D-sub 26(公头) |
传感器连接器 | D-sub 15(母头) |
*对于V-551.xD,与C-891组合时最大为0.2米/秒
**对于C-891.120200为24伏直流电
***插值
图纸/图片
V-551, 尺寸单位为毫米
V-551, 尺寸单位为毫米
带有PIOne线性编码器的V-551.4D执行0.5纳米步长序列。
带有PIOne线性编码器的V-551.4D执行1纳米步长序列。
V-551.4D线性平台和拖链的XY搭建。
XYZ装配由三个V-551线性平台组成,每个平台的行程均为60毫米。Z轴带有磁性重力补偿。
订购信息
V-551.2B
PIMag精密线性平台,160毫米宽度,60毫米行程,150牛负载容量,绝对编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相 线性电机
V-551.2D
PIMag精密线性平台,160毫米宽度,60毫米行程,150牛负载容量,PIOne
带正弦/余弦信号传输的线性编码器,2微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机
V-551.4B
PIMag精密线性平台,160毫米宽度,130毫米行程,150牛负载容量,绝对编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相 线性电机
V-551.4D
PIMag精密线性平台,160毫米宽度,130毫米行程,150牛负载容量,PIOne
带正弦/余弦信号传输的线性编码器,2微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机
V-551.7B
PIMag精密线性平台,160毫米宽度,230毫米行程,150牛负载容量,绝对编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相 线性电机
V-551.7D
PIMag精密线性平台,160毫米宽度,230毫米行程,150牛负载容量,PIOne
带正弦/余弦信号传输的线性编码器,2微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机