快速偏摆台

较短稳定时间和高动态线性化

应用领域

§ 图像处理/稳定

§ 光学捕获

§ 激光扫描/光束偏转

§ 激光调谐

§ 光学过滤器/开关

§ 光学

§ 激光束稳定

S-331

§ 偏摆角度高达5毫弧度，光学偏转角度高达10毫弧度（0.57度）

§ 并联运动设计可实现两条偏摆轴具有同样的高性能特点

§ 高谐振频率实现动态运动，快速步进和稳定

§ 位置传感器实现高线性度

§ 用于直径高达12.7毫米（0.5"）的反射镜

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有较小的质量惯性和相同的设计，可实现快速、动态和精密的运动。

	S-331.2SL / S-331.2SH	S-331.5SL / S-331.5SH	单位	公差
主动轴	θX，θY	θX，θY
运动和定位
集成传感器	应变片传感器	应变片传感器
θX、θY向上-20至120 伏时的开环偏摆角	4.2	7	毫弧度	最小
θX、θY向上的闭环偏摆角	3	5	毫弧度
θX、θY向上的开环分辨率	0.05	0.1	微弧度	典型值
θX、θY向上的闭环分辨率	0.1	0.25	微弧度	典型值
θX、θY向上的线性误差	(1) 0.3 (2) 0.1	(1) 0.3 (2) 0.1	%	典型值
θX、θY向上的重复精度，10 %偏摆角	0.3	0.5	微弧度	典型值
θX、θY向上的重复精度，100 %偏摆角	3	5	微弧度	典型值
机械特性
θX、θY向上的空载谐振频率	12	16	千赫兹	±20 %
θX、θY向上带负载时的谐振频率（带玻璃反射镜，直径12.7 毫米，厚度3 毫米）	9	10	千赫兹	±20 %
枢轴点至平台表面的距离	4	4	毫米	±1 毫米
平台惯性力矩	30	30	克× 平方毫米	±20 %
驱动特性
陶瓷类型	PICMA	PICMA
电容	0.96/轴	6.2/轴	微法	±20 %
其他
ID芯片功能	S-331.2SH	S-331.5SH
工作温度范围	-20 到 80	-20 到 80	°C
材料外壳	钢	钢
平台材料	钛金属	钛金属
质量	0.13	0.28	千克	±5 %
电缆长度	2	2	米	+100毫米/- 0毫米
传感器/电压连接	SH版本：Sub-D 37针（公头） SL版本：LEMO	SH版本：Sub-D 37针（公头） SL版本：LEMO
推荐电控	E-503，E-727	E-503，E-727

(1)S-331.xSL与E-5xx模拟控制器模块相结合。(2)S-331.xSH与数字控制器相结合，单向。

因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。

询问定制版本。

S-331，尺寸单位为毫米

带电缆分线箱的S-331.xSL；尺寸单位为毫米

图片10.png

两个轴的单向线性误差：蓝色实线代表轴1，棕色虚线代表轴2。带E-727.3SD数字压电控制器的S- 331.5SH全位移时的线性误差低于0.05%。

图片11.png

带E-505压电放大器模块和E-509伺服控制器模块的空载S-331.5SL的全位移

带E-505压电放大器模块和E-509伺服控制器模块的空载S-331.5SL在全位移时的稳定时间：5毫弧度步进的稳定时间为3毫秒，精度为±1%（全位移）。

订购信息

S-331.2SH具有高刚性的高动态偏摆台，3毫弧度偏摆角，应变片传感器，Sub-D 37 连接器（公头）

S-331.2SL具有高刚性的高动态偏摆台，3毫弧度偏摆角，应变片传感器，LEMO连接器

S-331.5SH具有高刚性的高动态偏摆台，5毫弧度偏摆角，应变片传感器，Sub-D 37 连接器（公头）

S-331.5SL具有高刚性的高动态偏摆台，5毫弧度偏摆角，应变片传感器，LEMO连接器