快速偏摆台
较短稳定时间和高动态线性化
应用领域
§ 图像处理/稳定
§ 光学捕获
§ 激光扫描/光束偏转
§ 激光调谐
§ 光学过滤器/开关
§ 光学
§ 激光束稳定
S-331
§ 偏摆角度高达5毫弧度,光学偏转角度高达10毫弧度(0.57度)
§ 并联运动设计可实现两条偏摆轴具有同样的高性能特点
§ 高谐振频率实现动态运动,快速步进和稳定
§ 位置传感器实现高线性度
§ 用于直径高达12.7毫米(0.5")的反射镜
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
并联运动实现高动态多轴操作
在并联多轴系统中,所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有较小的质量惯性和相同的设计,可实现快速、动态和精密的运动。
规格
S-331.2SL / S-331.2SH | S-331.5SL / S-331.5SH | 单位 | 公差 | |
主动轴 | θX,θY | θX,θY | ||
运动和定位 | ||||
集成传感器 | 应变片传感器 | 应变片传感器 | ||
θX、θY向上-20至120 伏时的开环偏摆角 |
4.2 |
7 |
毫弧度 |
最小 |
θX、θY向上的闭环偏摆角 | 3 | 5 | 毫弧度 | |
θX、θY向上的开环分辨率 | 0.05 | 0.1 | 微弧度 | 典型值 |
θX、θY向上的闭环分辨率 | 0.1 | 0.25 | 微弧度 | 典型值 |
θX、θY向上的线性误差 | (1) 0.3 (2) 0.1 | (1) 0.3 (2) 0.1 |
% |
典型值 |
θX、θY向上的重复精度,10 %偏摆角 | 0.3 | 0.5 | 微弧度 | 典型值 |
θX、θY向上的重复精度,100 %偏摆角 | 3 | 5 | 微弧度 | 典型值 |
机械特性 | ||||
θX、θY向上的空载谐振频率 | 12 | 16 | 千赫兹 | ±20 % |
θX、θY向上带负载时的谐振频率(带玻璃反射镜,直径12.7 毫米,厚度3 毫米) | 9 | 10 | 千赫兹 | ±20 % |
枢轴点至平台表面的距离 | 4 | 4 | 毫米 | ±1 毫米 |
平台惯性力矩 | 30 | 30 | 克× 平方毫米 | ±20 % |
驱动特性 | ||||
陶瓷类型 | PICMA | PICMA | ||
电容 | 0.96/轴 | 6.2/轴 | 微法 | ±20 % |
其他 | ||||
ID芯片功能 | S-331.2SH | S-331.5SH | ||
工作温度范围 | -20 到 80 | -20 到 80 | °C | |
材料外壳 | 钢 | 钢 | ||
平台材料 | 钛金属 | 钛金属 | ||
质量 | 0.13 | 0.28 | 千克 | ±5 % |
电缆长度 | 2 | 2 | 米 | +100毫米/- 0毫米 |
传感器/电压连接 | SH版本:Sub-D 37针(公头) SL版本:LEMO | SH版本:Sub-D 37针(公头) SL版本:LEMO | ||
推荐电控 | E-503,E-727 | E-503,E-727 |
(1)S-331.xSL与E-5xx模拟控制器模块相结合。(2)S-331.xSH与数字控制器相结合,单向。
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
询问定制版本。
图纸/图片
S-331,尺寸单位为毫米
带电缆分线箱的S-331.xSL;尺寸单位为毫米
两个轴的单向线性误差:蓝色实线代表轴1,棕色虚线代表轴2。带E-727.3SD数字压电控制器的S- 331.5SH全位移时的线性误差低于0.05%。
带E-505压电放大器模块和E-509伺服控制器模块的空载S-331.5SL的全位移
带E-505压电放大器模块和E-509伺服控制器模块的空载S-331.5SL在全位移时的稳定时间:5毫弧度步进的稳定时间为3毫秒,精度为±1%(全位移)。
订购信息
S-331.2SH具有高刚性的高动态偏摆台,3毫弧度偏摆角,应变片传感器,Sub-D 37 连接器(公头)
S-331.2SL具有高刚性的高动态偏摆台,3毫弧度偏摆角,应变片传感器,LEMO连接器
S-331.5SH具有高刚性的高动态偏摆台,5毫弧度偏摆角,应变片传感器,Sub-D 37 连接器(公头)
S-331.5SL具有高刚性的高动态偏摆台,5毫弧度偏摆角,应变片传感器,LEMO连接器