单级电容位移传感器(片状)

大范围量程，(亚)纳米测量分辨率，体积小巧

 DE30

§ 非接触式测量，可用于多种应用，如测量位移、振动、平面度/直线度、圆度/ 径向跳动误差、水层厚度等。

§ 绝对位置测量，高线性度

§ 最高可达亚纳米级测量分辨率

§ 量程最大达到1000微米

§ 安装便利，便于集成

§ 高传感器带宽

§ 选项：可升级为铟钢材料/真空

电容位移传感器具有极高的测量精度和工作寿命

单极电容传感器是直接测量型位移传感器。电容传感器利用电极面和被测面之间的均匀电场来测量两者之间的电容值变化，从而实现位移测量。非接触测量过程保证了极高的测量分辨率、线性度和高测量带宽。

单极电容传感器和信号处理器配合使用后，可实现最高亚纳米级的测量分辨率和高达5 kHz的测量带宽。对于高动态测量应用，5 kHz

带宽下的测量分辨率仍然保持在纳米级。电极面和被测面之间的高度平行安装能够使得单极电容传感器获得<0.1%的测量线性度。

护环电极保证了更高的测量线性度

单极电容传感器的电极设计对测量线性度具有较大的影响。传感器采用了先进的护环电极设计，消除了传感器电极边缘的非均匀电场效应，保证了电极面和被测面之间具有一个稳定均匀的电场测量区域，因此大大提高了电容传感器的测量线性度。

高精度加工

为了达到高精度的测量性能，单极电容传感器的不锈钢材质电极面是由严格的加工工艺和加工公差采用金刚石刀具精磨而成的，因此具有平整光滑的电极面，在使用过程中请重点保护电极面。

远距离测量

配合信号前置放大器，单极电容传感器和信号处理器之间可实现1.5米到6.5米的电缆总长度；配合信

号转换器，两者之间的电缆长度可大于6.5米，满足远距离测量应用的需要。

安装便利，便于集成

所有的片状型单极电容传感器都只有4mm的厚度，且具有两个安装沉孔，便于用户设备中安装集成。片状单极电容传感器自带1.5米电缆，可连接信号处理器或者前置放大器/转换器。

线性度测试报告

用户必须同时订购传感器、连接电缆、前置信号放大器/转换器（若需要）和信号处理器。中国PI公司在出厂前会针对所订购的整套系统进行线性度校准，设定线性化因子，增益和偏置等，校准过程中消除了电缆电容的影响，并随货提供用户《线性度测试报告》。

单极电容传感器配合模拟型信号处理器可进行一个量程范围的线性度校准；配合数字型信号处理器可进行两个量程范围的线性度校准并将校准参数存储在处理器中在线性度校准过程中，中国PI公司使用高精度的Zygo双频激光干涉仪和高精度的压电陶瓷平移台对电容传感器进行线性度测量和校准

定制型传感器

除了标准的片状传感器，中国PI公司还可定制不同测量范围、不同尺寸、不同材料的定制性片状传感器

双极片状电容传感器

若需要更高测量分辨率、更高线性度的位移传感器，请参阅PI公司（http://www.pi.ws）的D-015/D-

050/D-100双极电容位移传感器，或定制中国PI的双极电容传感器

规格

 * 静态测量：单倍量程下测量，10Hz传感器测量带宽，1.5米电缆动态测量：单倍量程下测量，最大传感器测量带宽，1.5米电缆

** 线性度：单倍量程下测量；随货提供《线性度测试报告》

*** 可定制铟钢材料传感器

图纸和图片

                                         片状电容传感器尺寸图，单位：mm

订购信息

D-E30.050

单板电容式传感器，1.71毫米有源传感器直径，50微米标称测量范围

D-E30.100

单板电容式传感器，2.48毫米有源传感器直径，100微米标称测量范围

D-E30.200

单板电容式传感器，3.5毫米有源传感器直径，200微米标称测量范围